Äußerst flach und mit spiegelartiger Oberfläche werden polierte Siliziumwafer höchsten Anforderungen in Bezug auf Ebenheit und Oberflächenqualität gerecht.
Gefertigt aus CZ- oder FZ-Kristallen, erhalten polierte Siliziumwafer im Zuge eines chemisch-mechanischen Polierprozesses nahezu perfekte Oberflächenbeschaffenheit. Damit werden sie höchsten Anforderungen in Bezug auf Ebenheit und Oberflächenqualität gerecht.
Siltronic bietet polierte Siliziumwafer mit Durchmessern von 125 mm bis 300 mm an. Je nach Kundenanforderung werden bei der Herstellung verschiedene Dotierstoffe wie Bor, Phosphor, roter Phosphor, Arsen oder Antimon eingesetzt.
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