Ultimate SiliconTM ist Siltronics höchstspezialisierter Wafer für CMOS-Spitzentechno-logien wie beispielsweise DRAM-Bauelementen. Der Ultimate SiliconTM-Kristallzieh-prozess erfüllt strenge Anforderungen bezüglich Sauerstoffkonzentration und Defekt-dichten (COP). Andere Waferparameter wie Ebenheit und Rauheit der Oberfläche sind vergleichbar mit denen der Standardwafer. Siltronic bietet Ultimate SiliconTM - Wafer mit einem Durchmesser von 300 mm an.