Polierte Siliciumwafer erhalten in einem chemisch-mechanischen Polierprozess eine nahezu perfekte Oberflächenbeschaffenheit, um den hohen Anforderungen in Bezug auf Ebenheit und Oberflächenqualität gerecht zu werden. Das Ergebnis ist ein äußerst flacher Wafer mit einer spiegelartigen Oberfläche.

Siltronic bietet verschiedene Arten von polierten Siliciumwafern mit einem Durchmesser von 125 mm bis 300 mm an.Üblicherweise basieren diese Wafer auf CZ-Kristall-technologie. Abhängig von Kundenanforderungen werden verschiedene Dotierstoffe hinzugefügt: Bor, Phosphor, roter Phosphor, Arsen und Antimon. Neutronendotierte Kristalle werden für Spezialanfertigungen produziert.