Siltronic bietet auf dem Markt ein breites Spektrum an Produkten an. Mit unserer Technologie im Bereich Kristallziehen und dicker Epi können wir unsere Produkte genau an die Kundenanforderungen anpassen.
EPI
Siltronic verfügt über eine komplette Ausstattung von Epi-Reaktoren und kann damit geeignete Lösungen für alle technischen Anforderungen anbieten.
- Von dünnen bis zu sehr dicken Epi-Schichten
- Mehrschicht-Epi-Wafer
- Enge Dickentoleranz
- Enge Widerstandstoleranz
- Übergangsprofile
- Reduzierte Nodules
und vieles mehr
Unsere Pancake-, Barrel-, Minibatch- und Einzelwafer-Epi-Reaktoren können optimal für unterschiedliche, anspruchsvolle Anwendungen eingesetzt werden, z. B. für IGBTs. Das Ergebnis ist ein genaueres Epi-Profil sowie eine bessere Widerstands- und Dicken-charakteristik.
OPTIMALES KANTENPROFIL
Maßgeschneiderte, asymmetrische Kantenformen bieten optimale Kantenprofile nach Backgrinding. Dadurch werden Waferbrüche reduziert und die Endausbeute verbessert.